




氦質(zhì)譜檢漏儀的主要配置
科儀產(chǎn)品主要有:薄膜制備設(shè)備,真空冶金設(shè)備,檢漏設(shè)備,真空系統(tǒng)等非標真空產(chǎn)品;系列分子泵,離子泵,鈦升華泵,深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備;系列干式渦旋泵,干式爪泵,干式螺桿泵等無油真空獲得設(shè)備;超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5。今天科儀的小編就和大家分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的主要配置有哪些,希望對您有所幫助!
1. 檢漏儀專用分子泵
2. 機械泵或者干泵
3. 定制檢漏儀專用電磁閥
4. 內(nèi)置標準漏口
5. 放大器
6. 采用質(zhì)譜專用模塊
以上是科儀為您一起分享的內(nèi)容,科儀專業(yè)生產(chǎn)氦檢漏,歡迎新老客戶蒞臨。
氦質(zhì)譜檢漏儀的進展
經(jīng)過近半個世紀的努力,今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個方面:
(1)便攜式:近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。
例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。
另外,逆擴散檢漏方式,實現(xiàn)了高壓強下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項
檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射氦氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應,對于如此龐大的真空系統(tǒng),其反應是相當?shù)撵`敏。
檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時間也越長。氦質(zhì)譜檢漏儀的進展(1)便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。筆者根據(jù)實測經(jīng)驗,兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右,即如果次噴氦后30s內(nèi)檢漏儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。
清除時間在理論上與響應時間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。本產(chǎn)品信息由科儀創(chuàng)鑫提供,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢。筆者測算,在測試到數(shù)量級為10-9P a ?m3/s的微漏漏點時,清除時間約須1分鐘;在測試到數(shù)量級為10-8P a ? m3/s的中漏漏點時,清除時間約須2分鐘;在測試到數(shù)量級為10-7Pa?m3/s的大漏漏點時,清除時間在3分鐘左右。
科儀擁有先進的技術(shù),我們都以質(zhì)量為本,信譽高,我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務。如果您對氦檢漏感興趣,歡迎點擊左右兩側(cè)的在線客服,或撥打咨詢電話。
氦氣檢漏的主要技術(shù)性能
1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;
2.一般為三箱聯(lián)動系統(tǒng),生產(chǎn)節(jié)拍可滿足單臺6PPM—12PPM;
3.開門方式,可根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝要求來設(shè)計,一般為平開門式、滑臺合箱式;
4.上下料采用機械手或機器人,正常生產(chǎn)時設(shè)備無需人工操作;
5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置,可將每個電芯的檢測數(shù)據(jù)對應存儲;
6.具有清氦功能
7.具有氦氣回收功能(此功能可選)
8.自動判斷,并對應放置(即不合格品放于不合格線,合格品放于合格線)
9.可通過觸摸屏設(shè)置不同等級密碼,更改設(shè)備參數(shù);
10.人機交互界面,觸摸屏實時反映運行狀態(tài)和測試數(shù)據(jù);
11.故障統(tǒng)計功能
12.系統(tǒng)采用配置和標準化設(shè)計制作,確保運行穩(wěn)定,性能可靠。
今天和大家分享的是氦氣檢漏的性能指標,想了解更多產(chǎn)品信息您可撥打圖片上的電話進行咨詢!